擴(kuò)散硅壓力傳感器是制造壓力傳感器和變送器的核心部件。以南京沃天擴(kuò)散硅壓力芯為例，說一下擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。

擴(kuò)散硅壓力傳感器由補(bǔ)償板、鋼球、底座、O型圈、芯片、陶瓷墊、膜片、壓力環(huán)、硅油等組成。在圖中的結(jié)構(gòu)中，每個(gè)部分都有相應(yīng)的作用和特點(diǎn)：

擴(kuò)散硅壓力傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)組成部分：

1.補(bǔ)償板：信號(hào)放大

2.鋼球：密封油

3.底座：壓力傳感器的載體

4.O型圈：密封

5.芯片：感到壓力

6.陶瓷墊：填充

7.隔膜：接觸液體或氣體進(jìn)行測量

8.壓環(huán)：將膜片焊接到底座上

9.硅油：傳導(dǎo)壓力